东方晶源开启批量交付模式 两款电子束量测检测设备交付新客户

早前 ，越来越大广州复工复产的快速推进 ，东方晶源积极负责组织设备交付工作任务  ，旗下电子束缺陷检测（EBI）和关键点尺寸量测（CD-SEM）两台设备已顺利交付广州最终客户。首次出机  ，是东方晶源继电子束量测检测设备出机国外知名晶圆代工厂后  ，第三次 受到头部最终客户的青睐和受到。除此之外  ，标志着东方晶源硬件产品产品第三次 进入批量交付多种模式。

首次出机的电子束缺陷检测设备型号为SEpA-i515  ，面向300mm硅片工艺制程  ，除有着该产品产品产品惯往往 高灵敏度电性和物理缺陷检测、有效掌控 核心难题28nm及上述良率核心难题、自主创有新高性能缺陷检测引擎（DNA综合数据库）、理念基础深度努力学习的缺陷自动分类（ADC）算法等产品产品特点外  ，东方晶源研发大团队 都在上一代产品产品的理念基础上优化越来越大升级 ，使SEpA-i515有着更高的TPT和更优有新平台风格设计  ，设备运行效率、性能指标均有大幅整体提升。更让人更让人  ，上一代产品产品SEpA-i505 由于目前在国外头部晶圆代工厂量产两年  ，产品产品性能及稳定性受到充分验证。

另一台交付的产品产品为关键点尺寸量测设备 ，型号为SEpA-c410  ，面向300mm硅片工艺制程  ，予以 先进的电子束成像系统提供和高速硅片传输方案  ，搭配组合 精准的量测算法  ，可顺利实现高重复精度、高分辨率及高产能的关键点尺寸量测。该设备自今今年初初6月底第三次 进入国外头部晶圆代工厂自从产线验证进展顺利  ，阶段性验收成果受到最终客户受到。

东方晶源电子束量测检测设备 ，依托所承担的部分国家 科技重大专项（02专项）——电子束硅片图形缺陷检测设备研发与产业化项目项目 ，几经 数年攻坚克难  ，突破多项核心关键点技术一 ，从零部件到整机风格设计制造  ，均有着其实自主知识产权  ，填补国外空白。由于目前  ，两款设备第三次 进入批量交付多种模式  ，产业化进程拿到丰硕成果。

首次设备交付的最终客户所在蹲在海到国的集成电路产业有着举足轻重的地位 ，由于目前由于目前它成国外集成电路产业综合总体水平高、产业链完整、产业生态生活环境这样集聚地它成。东方晶源越发看重在广州的发展方面 和布局 ，继计算光刻软件程序 （OPC）第三次 进入广州头部晶圆代工企业中后  ，硬件产品产品并于 登陆广州。为更完美机会的产品服务上述海为核心的长三角最终客户  ，东方晶源并于 今今年初初8月份在广州设立公司公司公司  ，逐步形成广州总部、广州公司公司公司和广州公司公司公司为核心的三地布局  ，逐步企业中贴近产业前沿高地  ，为集成电路企业中中带去优质的产品产品和产品服务  ，更完美机会的与上下游企业中携手逐步产业发展方面 的除此之外  ，构筑企业中提高自身竞争壁垒。

东方晶源自并于 并于 组建自从 ，专注于芯片制造关键点环节的良率掌控和整体提升核心领域  ，逐步形成以计算光刻软件程序 （OPC）、电子束量测检测装备硬件为核心的产品产品矩阵  ，并向更完美机会紧密相关 核心领域积极布局。硬件提高自身  ，东方晶源已着手电子束缺陷复检设备DR-SEM（Defect Review SEM）的研发工作任务 ，逐步夯着实国外电子束检测核心领域领先的当前市场地位和技术一一明显优势。软件程序 提高自身  ，光刻工艺严格仿真软件程序 PanSim由于目前在最终客户侧予以 验证  ，据预测7月底release V1.0版本。因为未来 ，东方晶源将立足通用软件程序 新平台和检测装备两大核心领域  ，寻求横纵向发展方面 机遇  ，为最终客户提供更完美越发多样化的产品产品  ，向着国外集成电路核心领域良率管理领导者的近期目标奋进。