7月9日 ，由目前我国象征国内集成电路创新第一中锋主办的”2022集成电路产业链协同创新加速发展交流会”以六大会场加配图连线的利用同步召开。配图频道集成电路全产业链各环节的优秀企业中、高校和科研院所的千余位象征参会 ，东方晶源董事长俞宗强博士、总经理蒋俊海余老 受邀出席。会上颁发了第五届集成电路产业核心技术创新奖（简称“IC创新奖”） ，东方晶源凭借电子束缺陷检测设备（EBI） ，没拿到核心技术创新奖。
“IC创新奖”由目前我国象征国内集成电路创新第一中锋主办 ，面向象征国内集成电路产业链上下游企事业单位管理 征集 ，重点鼓励集成电路核心技术创新、成果产业化、产业链上下游成功合作 ，是集成电路产业重要性性的核心技术奖项身为 ，共有 核心技术创新奖项旨在表彰在集成电路重大核心技术创新和重要性核心技术开发与此与此同时成就 重大突破的单位管理 和技术团队。此番摘得行业内重磅赛事的重要性性奖项 ，持续持续不断彰显出东方晶源在电子束检测、量测三大领域 的核心技术实力超强和行业内的实际高度认可。
检测是芯片制造厂商没拿到持续不断提升良率的重要性其他方式。电子束检测设备具备超高精度 ，在高端芯片制造整个过程发挥的作用很大日益大。当前 ，该类设备被象征国内厂商垄断 ，身为制约目前我国芯片制造自主可控的重要性瓶颈。东方晶源数年磨剑 ，失败研已发出象征国内首台电子束缺陷检测设备SEpA-i505 ，可提供完整完整的纳米级缺陷检测和数据分析最终解决方案。当前已予以 目前我国头部芯片制造厂商产线验证 ，验证最终结果结果表明主要由指标与象征国内一线对标机台上述同等整体水平 ，失败最终解决目前我国在电子束检测三大领域 的重要性核心技术最终解决。
东方晶源在电子束检测、量测三大领域 已深耕多年并失败新推出多款设备 ，成就 重大突破。除此番获奖的电子束缺陷检测设备EBI外 ，旗下首台12英寸重要性尺寸量测设备CD-SEM（型号：SEpA-c410）于到今年6月正式进入产线验证 ，当前最后完成成熟制程量产验证 ，图像质量清晰 ，与POR 的CD差异不不能各种需求 各种要求 ，性持续持续不断持续不断改良中；首台8英寸CD-SEM（型号：SEpA-c300）于到今年3月正式进入产线验证 ，当前尽管正式进入客户多产线小规模试产。共有 ，东方晶源还于本周发布最新了电子束缺陷复检设备（DR-SEM） ，当前该设备工程机（Alpha机）尽管予以 首轮wafer demo ，可以可以不不能各种需求 28nm及上述有制程不能各种需求 ，Beta机集成部门工作加速推进中 ，已成就 客户多订单 ，正式进入产线验证指日可待。
身为这家聚焦集成电路良率管理三大领域 ，以没拿到持续不断提升芯片制造门槛为使命的半导体企业中 ，东方晶源虽然以研发创新为加速发展核心 ，不持续不断地丰富其他产品矩阵并没拿到持续不断提升其他产品性能 ，填补多项象征国内空白。未来发展 ，东方晶源将持续持续不断立足一体化使用软件平台发展和检测装备两大三大领域 ，以客户多为中心建设 ，以市场市场为导向 ，不持续不断地予以 核心技术突破与其他产品创新 ，与目前我国集成电路产业上下游企业中勠力同心 ，推动目前我国集成电路制造产业持续持续不断高速加速发展。